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金沙银河有哪些排气方式

2022-03-23

一般废气:来自机器运行产生的热量,不含有害物质或高温气体,但考虑到洁净室空调和过滤设备的负荷,废气由一般风车抽至大气,未经处理排入大气。注:GEX采用镀锌螺旋管,六角采用SUS304酸排(性)、碱排(AEX)系统流程:

酸碱废气:主要来自化学清洗站和芯片清洗过程中产生的挥发性气体。部分气体含有浓烟,部分气体对呼吸系统有刺激作用,对人体有害。因此,必须在洗涤器中洗涤中和,然后通过风扇排放到大气中。

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有机溶剂排放:主要来源于各工序用有机溶剂粘合、显影、清洗的过程。需经有机废气处理设备处理后由风机排入大气。

碱性汽提废气:汽提工艺的主要来源是通过冷凝吸取器汽提液、气,将废气在液相冷却后旋出,经冷凝器吸取处理后含废气浓度会降低,然后送到中央洗涤器做洗涤和处理,再由风机排风。

紧急排气:当洁净室机尾风道内探头引气浓度过高时,应进行紧急操作,保证正常生产,维护室内环境。


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